Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

Авторы: Гаврилов А. С., Белов Алексей Николаевич

Артикул: 453950.05.01

Количество страниц: 240

1 301 руб.

В корзину

Онлайн доступ

Ознакомиться

Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.

Год издания:

2023

Вид издания:

Учебное пособие

ISBN:

978-5-369-01299-4

Вид оформления:

Переплет 7БЦ

Издательство:

ИЦ РИОР

Дисциплина:

Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники, Наноэлектроника, Физические основы микро- и наноэлектроники